| 题名 | 多弧离子镀等离子体镀膜技术应用及其计算机控制 |
| 作者 | 陈玲玲 |
| 答辩日期 | 2005 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 李国卿 |
| 关键词 | 多弧离子镀 Cr-N薄膜 显微硬度 计算机控制 沉积技术 薄膜性能 薄膜结构 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6154031 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈玲玲. 多弧离子镀等离子体镀膜技术应用及其计算机控制[D]. 大连理工大学. 2005. |
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