| 强流脉冲离子束模型及辐照靶材能量沉积的模拟研究 | |
| 吴迪; 宫野; 刘金远; 王晓钢; 刘悦; 马腾才 | |
| 2005 | |
| 会议名称 | TFC'05全国薄膜技术学术研讨会 |
| 会议日期 | 2005-09-01 |
| 会议地点 | 中国大连 |
| 关键词 | 靶材 强流 能量沉积 纳米粉 高斯脉冲 薄膜制备 材料改性 法拉第杯 能量分布 加速电压 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | TFC'05全国薄膜技术学术研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6146133 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴迪,宫野,刘金远,等. 强流脉冲离子束模型及辐照靶材能量沉积的模拟研究[C]. 见:TFC'05全国薄膜技术学术研讨会. 中国大连. 2005-09-01. |
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