用于键合的清洗和干燥装置 | |
何国荣 ; 石岩 ; 杨国华 ; 郑婉华 ; 陈良惠 | |
2007-12-05 | |
专利类型 | 发明 |
英文摘要 | Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-06-04T08:36:34Z No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5); Made available in DSpace on 2009-06-04T08:36:35Z (GMT). No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5) Previous issue date: 2008-08; Made available in DSpace on 2009-06-11T08:58:13Z (GMT). No. of bitstreams: 1 full/200610012043.pdf: 597177 bytes, checksum: 54a3ad0d7837f425f11801972a4a1e06 (MD5) Previous issue date: |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 ; 2010-10-15 |
申请日期 | 2006-05-31 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | 200610012043 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3867] ![]() |
专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 何国荣,石岩,杨国华,等. 用于键合的清洗和干燥装置. 2007-12-05. |
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