Method for realizing impedance match between pulse power supply and plasma loading. | |
QI D WANG N WU Y | |
2006 | |
公开日期 | 2006-05-31 |
URL标识 | 查看原文 |
申请日期 | 2005-09-21 |
内容类型 | 专利 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6139900 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | UNIV DALIAN TECHNOLOGY (UYDA-C |
推荐引用方式 GB/T 7714 | QI D WANG N WU Y. Method for realizing impedance match between pulse power supply and plasma loading.. 2006-01-01. |
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