| 不同波长激光对半导体Si表面的损伤机制 | |
| 刘烨[1]; 周新玲[2] | |
| 2008 | |
| 卷号 | 22期号:2页码:104-108 |
| 关键词 | 光吸收系数 损伤机制 热应力 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6129385 |
| 专题 | 山东师范大学 |
| 作者单位 | 1.[1]上海工程技术大学基础教学学院,上海201620 2.[2]山东师范大学物理与电子科学学院,济南250014 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘烨[1],周新玲[2]. 不同波长激光对半导体Si表面的损伤机制[J],2008,22(2):104-108. |
| APA | 刘烨[1],&周新玲[2].(2008).不同波长激光对半导体Si表面的损伤机制.,22(2),104-108. |
| MLA | 刘烨[1],et al."不同波长激光对半导体Si表面的损伤机制".22.2(2008):104-108. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论