| 题名 | 硅基磁控溅射Ga2O3/Al2O3膜氨化反应自组装法和热壁CVD法制备GaN薄膜的研究 |
| 作者 | 魏芹芹 |
| 导师 | 薛成山 |
| 关键词 | GaN 磁控溅射 氨化 热壁化学气相沉积 纳米 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6127707 |
| 专题 | 山东师范大学 |
| 作者单位 | 山东师范大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 魏芹芹. 硅基磁控溅射Ga2O3/Al2O3膜氨化反应自组装法和热壁CVD法制备GaN薄膜的研究[D]. |
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