Measurement of scanning prism by laser Haidinger interference

	Measurement of scanning prism by laser Haidinger interference
	Yang Z. W. ; Xue X. L. ; An W.
	1996
会议日期	1996
页码	432-437
收录类别	CPCI-S
会议录	Automated Optical Inspection for Industry
会议录出版者	Spie - Int Soc Optical Engineering
会议录出版地	Bellingham
语种	英语
ISBN号	0-8194-2300-9
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/35349]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	Yang Z. W.,Xue X. L.,An W.. Measurement of scanning prism by laser Haidinger interference[C]. 见:. 1996.