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题名	硅基扩镓溅射Ga2O3反应自组装和热壁化学气相沉积制备GaN薄膜的研究
作者	孙振翠[1]
导师	曹文田
关键词	热壁化学气相沉积 氮化
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6122764
专题	山东师范大学
作者单位	[1]山东师范大学
推荐引用方式 GB/T 7714	孙振翠[1]. 硅基扩镓溅射Ga2O3反应自组装和热壁化学气相沉积制备GaN薄膜的研究[D].

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