一种类富勒烯碳膜与不同偶件对摩时的摩擦学行为及其机制研究
杨生荣; 王鹏; 张俊彦; 张斌; 张俊彦
刊名摩擦学学报
2008
卷号28期号:4页码:304-310
关键词类富勒烯碳膜 摩擦学行为 转移膜 摩擦氧化反应 FL-C film tribological behavior transfer film tribo-chemical oxidation
ISSN号1004-0595
通讯作者张俊彦
中文摘要摘要: 采用磁控溅射钛靶, 以甲烷和氩气为前驱体, 在单晶硅片表面制备了类富勒烯碳薄膜, 采用高分辨率透射电子显微镜对薄膜的微观形貌进行了表征, 采用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度及弹性回复, 在球-盘微摩擦试验机上考察了薄膜与不同偶件 (Si3N4球、Al2O3球、钢球)对摩的摩擦学行为. 结果表明, 薄膜具有类富勒烯结构特征, 薄膜的硬度为 20.9 GPa, 对应的弹性回复高达 85%. 薄膜的摩擦性能与摩擦偶件相关: FL-C薄膜与 Si3N4球对摩时磨屑在 Si3N4球接触面充分覆盖, 所形成的转移膜充当固体润滑剂而有效降低了摩擦系数; FL-C薄膜与钢球对摩时, 由于钢球硬度远低于 FL-C薄膜硬度, 导致钢球在较高的接触压力下发生变形而使其表面粗糙度变大, 摩擦系数增大, 且 FL-C薄膜表面发生了较为强烈的摩擦氧化反应, 破坏了薄膜的原始结构, 新生成的氧化聚合物结构较为疏松, 在摩擦剪切作用下易于发生磨损.
学科主题材料科学与物理化学
收录类别EI ; CSCD
资助信息国家863计划资助项目(2007AA03Z388);国家自然科学基金资助项目(50572115);中国科学院百人计划资助项目
语种中文
CSCD记录号CSCD:3324746
公开日期2013-03-28
内容类型期刊论文
源URL[http://210.77.64.217/handle/362003/2754]  
专题兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
通讯作者张俊彦; 张俊彦
推荐引用方式
GB/T 7714
杨生荣,王鹏,张俊彦,等. 一种类富勒烯碳膜与不同偶件对摩时的摩擦学行为及其机制研究[J]. 摩擦学学报,2008,28(4):304-310.
APA 杨生荣,王鹏,张俊彦,张斌,&张俊彦.(2008).一种类富勒烯碳膜与不同偶件对摩时的摩擦学行为及其机制研究.摩擦学学报,28(4),304-310.
MLA 杨生荣,et al."一种类富勒烯碳膜与不同偶件对摩时的摩擦学行为及其机制研究".摩擦学学报 28.4(2008):304-310.
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