利用AFM机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究

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	利用AFM机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究
	刘志鲁
刊名	摩擦学学报
	2008
卷号	28 期号:1 页码:6-10
关键词	原子力显微镜(AFM) 十八烷基三氯硅烷(OTS) 纳米加工摩擦力力分布成像 AFM OTS nanofabrication friction force force volume imaging
ISSN号	1004-0595
通讯作者	陈淼
中文摘要	摘要: 在羟基化 Si (111)表面制备十八烷基三氯硅烷 (OTS)自组装单分子膜, 利用 AFM机械刻蚀技术, 通过自编程序设计针尖走向, 以金刚石针尖作为加工工具, 在 OTS自组装单分子膜的 Si (111)表面刻蚀不同结构的纳米图案, 通过预设针尖移动距离和扫描头 Z向位移等参数控制纳米结构的大小和深度. 结果表明: 利用原子力显微镜 (AFM)机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜的 Si (111)表面加工出大小、深度可控的纳米图案, 其中载荷与加工深度基本呈线性关系; 所获得的纳米图案结构清晰, 刻蚀试验的重复性较好; 经过刻蚀后的图案化区域为裸露的 SiO2 Si表面, 与 OTS覆盖区域相比其摩擦力和粘附力较大, 其表面性质具有明显的可分辨性.
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	EI ; CSCD
资助信息	国家自然科学基金资助项目(20473106);国家973项目资助(2007CB607605)
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:3220451
公开日期	2013-03-28
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/2749]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	刘志鲁. 利用AFM机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究[J]. 摩擦学学报,2008,28(1):6-10.
APA	刘志鲁.(2008).利用AFM机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究.摩擦学学报,28(1),6-10.
MLA	刘志鲁."利用AFM机械刻蚀技术在 OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究".摩擦学学报 28.1(2008):6-10.