图案化TiO2薄膜的制备技术

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	图案化TiO2薄膜的制备技术
	梁山 ; 陈淼
刊名	化学进展
	2008
卷号	20 期号:11 页码:66.1(0-5)
关键词	图案化 TiO2 膜自组装光刻胶光敏膜软刻蚀微接触印刷 patterned TiO2 films selfassembly photoresist photosensitivefilms softlithography microcontact printing
ISSN号	1005-281X
通讯作者	陈淼
中文摘要	摘要　按图案的生成方式可分为图案的直接生成、掩膜复制法和硬质模板复制法 3 大类。可以通过针尖写蚀法、电子书写蚀法、激光写蚀法、自组装法和光电化学法直接制备图案。掩膜复制法包括光刻胶法、自组装膜法和光敏凝胶膜法等; 硬质模板法也称软刻蚀技术, 分为复制微模塑、转移微模塑、毛细管微模塑、微接触印刷法、光-盖印印刷等技术。本文综述了图案化 TiO2 薄膜的制备技术, 对每类方法的优缺点作了评述, 对今后图案化 TiO2 薄膜制备的研究方向提出了一些建议。
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	SCI ; CSCD
资助信息	国家自然科学基金项目(No.20473106);国家重点基础研究发展计划(973)项目(No.2007CB607605);国家自然科学基金创新研究群体科学基金项目(No.50421502)资助
语种	中文
公开日期	2013-03-28
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/2742]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	梁山,陈淼. 图案化TiO2薄膜的制备技术[J]. 化学进展,2008,20(11):66.1(0-5).
APA	梁山,&陈淼.(2008).图案化TiO2薄膜的制备技术.化学进展,20(11),66.1(0-5).
MLA	梁山,et al."图案化TiO2薄膜的制备技术".化学进展 20.11(2008):66.1(0-5).