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	RANGE DISTRIBUTION OF FLUORINE IN F-19(+)-IMPLANTED LINBO3
	TAN, CY; XIA, YY; LIU, XD; LIU, JT; LI, JH; YANG, H; SUN, XF
	1994
会议名称	15th International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS-15)
会议日期	JUL 26-30, 1993
卷号	90
期号	1-4
页码	383-386
收录类别	CPCI-S ; SCIE
会议录	NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
URL标识	查看原文
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6090594
专题	山东大学
作者单位	1.CHANGZHOU SEMICOND FACTORY,CHANGZHOU 213001,PEOPLES R CHINA. 2.[TAN, CY 3.XIA
推荐引用方式 GB/T 7714	TAN, CY,XIA, YY,LIU, XD,et al. RANGE DISTRIBUTION OF FLUORINE IN F-19(+)-IMPLANTED LINBO3[C]. 见:15th International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS-15). JUL 26-30, 1993.

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