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	Selective etching in LiNbO3 combined of MeV O and Si ion implantation with wet-etch technique
	Wang, Lei; Wang, Ke-Ming; Wang, Xue-Lin; Chen, Feng; Jiang, Yi; Jia, Chuan-Lei; Jiao, Yang; Lu, Fei; Shen, Ding-Yu; Ma, Hong-Ji
	2007
会议名称	5th Asian/European International Conference on Plasma Surface Engineering
会议日期	SEP 12-16, 2005
关键词	etching ion implantation LiNbO3
卷号	201
期号	9-11
DOI	10.1016/j.surfcoat.2006.07.145
页码	5081-5084
收录类别	CPCI-S ; SCOPUS ; SCIE
会议录	SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
URL标识	查看原文
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6077562
专题	山东大学
作者单位	Shandong Univ, Sch Phys & Micro
推荐引用方式 GB/T 7714	Wang, Lei,Wang, Ke-Ming,Wang, Xue-Lin,et al. Selective etching in LiNbO3 combined of MeV O and Si ion implantation with wet-etch technique[C]. 见:5th Asian/European International Conference on Plasma Surface Engineering. SEP 12-16, 2005.

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