Selective etching in LiNbO3 combined of MeV O and Si ion implantation with wet-etch technique | |
Wang, Lei; Wang, Ke-Ming; Wang, Xue-Lin; Chen, Feng; Jiang, Yi; Jia, Chuan-Lei; Jiao, Yang; Lu, Fei; Shen, Ding-Yu; Ma, Hong-Ji | |
2007 | |
会议名称 | 5th Asian/European International Conference on Plasma Surface Engineering |
会议日期 | SEP 12-16, 2005 |
关键词 | etching ion implantation LiNbO3 |
卷号 | 201 |
期号 | 9-11 |
DOI | 10.1016/j.surfcoat.2006.07.145 |
页码 | 5081-5084 |
收录类别 | CPCI-S ; SCOPUS ; SCIE |
会议录 | SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
![]() |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6077562 |
专题 | 山东大学 |
作者单位 | Shandong Univ, Sch Phys & Micro |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang, Lei,Wang, Ke-Ming,Wang, Xue-Lin,et al. Selective etching in LiNbO3 combined of MeV O and Si ion implantation with wet-etch technique[C]. 见:5th Asian/European International Conference on Plasma Surface Engineering. SEP 12-16, 2005. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论