| Polymer/SiAWG器件材料光学常数的准确测量 | |
| 张大明 ; 李德辉 ; 于硕 ; 张希珍 ; 王菲 ; 鄂书林 | |
| 2004 | |
| 会议地点 | 中国杭州 |
| 关键词 | 聚合物 光学常数 列阵波导光栅 |
| 中文摘要 | 本文使用WVASE32型椭偏仪,对Si基聚合物薄膜的折射率和吸收系数的测量方法进行分析;对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料在波长为1.55μm时的折射率进行了准确测量,并根据测量结果对聚合物AWG器件进行了设计,器件通道数为32,工作波长为1.55μm,波长间隔为0.8nm。本文同时探讨了多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜折射率的测量方法。 |
| 收录类别 | 中国会议 |
| 会议录出版者 | 浙江大学出版社 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32735]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张大明,李德辉,于硕,等. Polymer/SiAWG器件材料光学常数的准确测量[C]. 见:. 中国杭州. |
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