| 等离子体协助的ZnS:Mn外延层生长及其电致发光 | |
| 张吉英 ; 张振中 ; 单崇新 ; 钟国柱 ; 刘益春 ; 申德振 | |
| 2001 | |
| 会议地点 | 中国厦门 |
| 关键词 | 等离子体协助MOCVD ZnS:Mn外延层 电致发光 |
| 中文摘要 | 在低压MOCVD条件下,采用等离子体协助方法进行ZnS和ZnS:Mn 外延层生长。在普通玻璃衬底上,150℃生长的ZnS外延层由X光衍射谱表明有较强的(111)衍射峰,随生长温度提高至350℃,位于(111)的ZnS衍射峰值半高宽(△2θ)变窄(0.21°),表明获得较高的ZnS 外延层质量。由于采用等离子体协助分解,使TCM 由原来热分解温度500℃下降至350℃可完成ZnS:Mn 外延层生长,并在室温下观测到起因于Mn 中心,发光峰值位于596 nm 的电致发光。 |
| 收录类别 | 中国会议 |
| 会议录出版者 | 重庆仪表材料研究所、中国仪器仪表学会仪表材料学会、《功能材料》编辑部、国家仪表功能材料工程技术研究中心 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32718]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张吉英,张振中,单崇新,等. 等离子体协助的ZnS:Mn外延层生长及其电致发光[C]. 见:. 中国厦门. |
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