双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度

	双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度
	曲轶 ; 高欣 ; 张宝顺 ; 薄报学 ; 张兴德
刊名	半导体技术
	1999-12-13
期号	06 页码:45-46+58
关键词	双晶x射线衍射超薄层厚度
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30873]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	曲轶,高欣,张宝顺,等. 双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度[J]. 半导体技术,1999(06):45-46+58.
APA	曲轶,高欣,张宝顺,薄报学,&张兴德.(1999).双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度.半导体技术(06),45-46+58.
MLA	曲轶,et al."双晶x射线衍射法测量超薄层外延材料厚度".半导体技术 .06(1999):45-46+58.