| 低压外延反应室内的温度分布 | |
| 王英民[1]; 李星文[2] | |
| 刊名 | 河北大学学报(自然科学版)
 |
| 1981 | |
| 期号 | 02页码:82-94 |
| 关键词 | 反应室 温度分布 工艺条件 外延生长 高频炉 大便利 石英管 换热系数 工作电压 内热源 |
| ISSN号 | 1000-1565 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | WOS: |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6022704 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | [1]河北大学电子系[2]河北大学电子系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王英民[1],李星文[2]. 低压外延反应室内的温度分布[J]. 河北大学学报(自然科学版),1981(02):82-94. |
| APA | 王英民[1],&李星文[2].(1981).低压外延反应室内的温度分布.河北大学学报(自然科学版)(02),82-94. |
| MLA | 王英民[1],et al."低压外延反应室内的温度分布".河北大学学报(自然科学版) .02(1981):82-94. |
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