一个有关硅各向异性腐蚀机理的唯象模型 | |
侯承贵[1] | |
刊名 | 河北大学学报(自然科学版) |
1982 | |
期号 | 02页码:8-15 |
关键词 | 吸附中心 唯象 腐蚀机理 腐蚀速率 晶向 反应剂 速率常数 腐蚀液 吸附反应 硅原子 |
ISSN号 | 1000-1565 |
URL标识 | 查看原文 |
WOS记录号 | WOS: |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6022586 |
专题 | 河北大学 |
作者单位 | [1]河北大学电子系 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 侯承贵[1]. 一个有关硅各向异性腐蚀机理的唯象模型[J]. 河北大学学报(自然科学版),1982(02):8-15. |
APA | 侯承贵[1].(1982).一个有关硅各向异性腐蚀机理的唯象模型.河北大学学报(自然科学版)(02),8-15. |
MLA | 侯承贵[1]."一个有关硅各向异性腐蚀机理的唯象模型".河北大学学报(自然科学版) .02(1982):8-15. |
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