| 题名 | PECVD法制备的硅纳米线微结构和光学性质 |
| 作者 | 曾湘波 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2004 |
| 授予单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 廖显伯 |
| 英文摘要 | Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z; Made available in DSpace on 2009-04-13T11:45:31Z (GMT).; Made available in DSpace on 2009-07-09T01:35:56Z (GMT). No. of bitstreams: 1 disk/eh2004/zxb.pdf: 2403077 bytes, checksum: 88d6a674fd03306f6d52ab4e99b672c3 (MD5) Previous issue date: 2004 |
| 语种 | 中文 |
| 学科主题 | 材料物理与化学 |
| 公开日期 | 2009-04-13 ; 2009-07-09 ; 2010-10-15 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/5273]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾湘波. PECVD法制备的硅纳米线微结构和光学性质[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所. 2004. |
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