CORC  > 贵州大学
两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术(英文)
周章渝; 杨发顺; 杨健; 王松; 邓朝勇; 傅兴华
2012
期号18页码:7-9
关键词MgB2超导薄膜 布图布线 湿法刻蚀
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6018782
专题贵州大学
作者单位1.[1]贵州大学理学院
2.[2]贵州省微纳电子与软件技术重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
周章渝,杨发顺,杨健,等. 两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术(英文)[J],2012(18):7-9.
APA 周章渝,杨发顺,杨健,王松,邓朝勇,&傅兴华.(2012).两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术(英文).(18),7-9.
MLA 周章渝,et al."两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术(英文)"..18(2012):7-9.
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