多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计

	多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计
	李牧菊 ; 杨柏梁
刊名	半导体学报
	2002-04-08
期号	04 页码:414-418
关键词	薄膜晶体管热电子发射
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29409]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李牧菊,杨柏梁. 多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计[J]. 半导体学报,2002(04):414-418.
APA	李牧菊,&杨柏梁.(2002).多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计.半导体学报(04),414-418.
MLA	李牧菊,et al."多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计".半导体学报 .04(2002):414-418.