多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计 | |
李牧菊 ; 杨柏梁 | |
刊名 | 半导体学报
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2002-04-08 | |
期号 | 04页码:414-418 |
关键词 | 薄膜晶体管 热电子发射 |
公开日期 | 2013-03-11 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29409] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李牧菊,杨柏梁. 多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计[J]. 半导体学报,2002(04):414-418. |
APA | 李牧菊,&杨柏梁.(2002).多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计.半导体学报(04),414-418. |
MLA | 李牧菊,et al."多晶硅薄膜晶体管源漏轻掺杂结构的优化设计".半导体学报 .04(2002):414-418. |
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