| 磁控溅射制备薄膜材料 | |
| 余平; 张勇; 张晋敏 | |
| 200620061001 | |
| 会议日期 | 20061001 |
| 会议地点 | 中国陕西西安 |
| 关键词 | 磁控溅射 薄膜 椭偏仪 |
| 会议录 | 中国真空学会2006年学术会议论文摘要集
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6008614 |
| 专题 | 贵州大学 |
| 作者单位 | [1]贵州大学电子科学系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 余平,张勇,张晋敏. 磁控溅射制备薄膜材料[C]. 见:. 中国陕西西安. 20061001. |
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