硅基键合技术的理论和工艺研究

题名	硅基键合技术的理论和工艺研究
作者	韩伟华
学位类别	博士
答辩日期	2001
授予单位	中国科学院半导体研究所
授予地点	北京
导师	余金中
英文摘要	Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z; Made available in DSpace on 2009-04-13T11:45:31Z (GMT).; Made available in DSpace on 2009-07-09T01:35:35Z (GMT). No. of bitstreams: 1 disk/eh2001/hwh.pdf: 7378691 bytes, checksum: 1b6aca9badd9e71ffa42ff9a816d4519 (MD5) Previous issue date: 2001
语种	中文
学科主题	微电子学与固体电子学
公开日期	2009-04-13 ; 2009-07-09 ; 2010-10-15
内容类型	学位论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/5043]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	韩伟华. 硅基键合技术的理论和工艺研究[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所. 2001.