薄膜应力激光测量方法分析 | |
王成 ; 马莹 ; 张贵彦 ; 肖孟超 ; 甘志宏 ; 缪同群 ; 钱龙生 | |
刊名 | 激光技术
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2005-02-28 | |
期号 | 01页码:98-100 |
关键词 | 激光 薄膜 应力 测量 |
公开日期 | 2013-03-11 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29116] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王成,马莹,张贵彦,等. 薄膜应力激光测量方法分析[J]. 激光技术,2005(01):98-100. |
APA | 王成.,马莹.,张贵彦.,肖孟超.,甘志宏.,...&钱龙生.(2005).薄膜应力激光测量方法分析.激光技术(01),98-100. |
MLA | 王成,et al."薄膜应力激光测量方法分析".激光技术 .01(2005):98-100. |
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