薄膜应力激光测量方法分析

	薄膜应力激光测量方法分析
	王成 ; 马莹 ; 张贵彦 ; 肖孟超 ; 甘志宏 ; 缪同群 ; 钱龙生
刊名	激光技术
	2005-02-28
期号	01 页码:98-100
关键词	激光薄膜应力测量
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29116]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王成,马莹,张贵彦,等. 薄膜应力激光测量方法分析[J]. 激光技术,2005(01):98-100.
APA	王成.,马莹.,张贵彦.,肖孟超.,甘志宏.,...&钱龙生.(2005).薄膜应力激光测量方法分析.激光技术(01),98-100.
MLA	王成,et al."薄膜应力激光测量方法分析".激光技术 .01(2005):98-100.