薄膜应力对薄膜测量和使用的影响 | |
王成 ; 马莹 ; 张贵彦 ; 肖孟超 ; 钱龙生 | |
刊名 | 光电子·激光
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2005-05-15 | |
期号 | 05页码:579-583 |
关键词 | 光学 薄膜 应力 光谱 |
公开日期 | 2013-03-11 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28685] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王成,马莹,张贵彦,等. 薄膜应力对薄膜测量和使用的影响[J]. 光电子·激光,2005(05):579-583. |
APA | 王成,马莹,张贵彦,肖孟超,&钱龙生.(2005).薄膜应力对薄膜测量和使用的影响.光电子·激光(05),579-583. |
MLA | 王成,et al."薄膜应力对薄膜测量和使用的影响".光电子·激光 .05(2005):579-583. |
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