准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备

	准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备
	邱法斌 ; 骆文生 ; 张玉 ; 刘传珍 ; 荆海 ; 黄锡珉
刊名	液晶与显示
	2001-09-15
期号	03 页码:170-175
关键词	多晶硅膜准分子激光烧结玻璃衬底制备
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28482]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	邱法斌,骆文生,张玉,等. 准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备[J]. 液晶与显示,2001(03):170-175.
APA	邱法斌,骆文生,张玉,刘传珍,荆海,&黄锡珉.(2001).准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备.液晶与显示(03),170-175.
MLA	邱法斌,et al."准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备".液晶与显示 .03(2001):170-175.