光栅参数测量技术研究进展

	光栅参数测量技术研究进展
	刘洪兴 ; 张巍 ; 巩岩
刊名	中国光学
	2011-04-15
期号	02 页码:103-110
关键词	光栅光栅参数测量原子力显微镜扫描电子显微镜激光衍射仪椭偏仪
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27583]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘洪兴,张巍,巩岩. 光栅参数测量技术研究进展[J]. 中国光学,2011(02):103-110.
APA	刘洪兴,张巍,&巩岩.(2011).光栅参数测量技术研究进展.中国光学(02),103-110.
MLA	刘洪兴,et al."光栅参数测量技术研究进展".中国光学 .02(2011):103-110.