高复现性面形检测支撑装置研制 | |
王辉 ; 于杰 ; 周烽 ; 王丽萍 | |
刊名 | 中国激光 |
2012-11-10 | |
期号 | 11页码:136-140 |
关键词 | 测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑 |
公开日期 | 2013-03-11 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27516] |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王辉,于杰,周烽,等. 高复现性面形检测支撑装置研制[J]. 中国激光,2012(11):136-140. |
APA | 王辉,于杰,周烽,&王丽萍.(2012).高复现性面形检测支撑装置研制.中国激光(11),136-140. |
MLA | 王辉,et al."高复现性面形检测支撑装置研制".中国激光 .11(2012):136-140. |
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