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氩环境气压对激光烧蚀沉积纳米硅薄膜形貌的影响
闫常瑜[1]; 周阳[2]; 褚立志[3]; 武德起[4]; 王晓菲[5]; 王英龙[6]
刊名河北大学学报(自然科学版)
2005
卷号25期号:1页码:29-32
关键词脉冲激光烧蚀 纳米硅 形貌
ISSN号1000-1565
DOIhttp://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1000-1565.2005.01.008
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收录类别CSCD
WOS记录号WOS:
内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5990192
专题河北大学
作者单位河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002
推荐引用方式
GB/T 7714
闫常瑜[1],周阳[2],褚立志[3],等. 氩环境气压对激光烧蚀沉积纳米硅薄膜形貌的影响[J]. 河北大学学报(自然科学版),2005,25(1):29-32.
APA 闫常瑜[1],周阳[2],褚立志[3],武德起[4],王晓菲[5],&王英龙[6].(2005).氩环境气压对激光烧蚀沉积纳米硅薄膜形貌的影响.河北大学学报(自然科学版),25(1),29-32.
MLA 闫常瑜[1],et al."氩环境气压对激光烧蚀沉积纳米硅薄膜形貌的影响".河北大学学报(自然科学版) 25.1(2005):29-32.
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