| 掺铒对激光烧蚀制备纳米硅晶薄膜形貌的影响 | |
| 周阳[1]; 褚立志[2]; 卢丽芳[3]; 李艳丽[4]; 邓泽超[5]; 王英龙[6]; 彭英才[7] | |
| 2006 | |
| 会议名称 | 中国光学学会2006年学术大会 |
| 关键词 | 激光烧蚀 纳米硅 晶粒尺寸 光电集成 脉冲激光 环境气体 纳米晶化 集成工艺 光效应 尺寸分布 |
| 页码 | 1 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | WOS: |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5987062 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | [1]河北大学物理科学与技术学院[2]河北大学物理科学与技术学院[3]河北大学物理科学与技术学院[4]河北大学物理科学与技术学院[5]河北大学物理科学与技术学院[6]河北大学物理科学与技术学院[7]河北大学物理科学与技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周阳[1],褚立志[2],卢丽芳[3],等. 掺铒对激光烧蚀制备纳米硅晶薄膜形貌的影响[C]. 见:中国光学学会2006年学术大会. |
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