| 氧压对脉冲激光沉积Si基ZnO薄膜性能的影响 | |
| 滕晓云[1]; 郝秋艳[2]; 刘彩池[3]; 张丽[4]; 许贺菊[5]; 于威[6] | |
| 2006 | |
| 会议名称 | 第十届固体薄膜会议论文集中国电子学会 |
| 关键词 | 脉冲激光沉积法 结晶特性 光学性能 发光特性 氧化锌薄膜 |
| 页码 | 53-57 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | WOS: |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5981469 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | 1.河北工业大学材料学院,天津 30013河北大学物理科学与技术学院,保定 071002 2.河北工业大学材料学院,天津 300130 3.河北大学物理科学与技术学院,保定 071002 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 滕晓云[1],郝秋艳[2],刘彩池[3],等. 氧压对脉冲激光沉积Si基ZnO薄膜性能的影响[C]. 见:第十届固体薄膜会议论文集中国电子学会. |
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