| 压阻式谐振微悬臂梁黏度传感器 | |
| 张桂铭 ; 赵立波 ; 徐龙起 ; 黄恩泽 ; 王晓坡 ; 宋渤 ; 蒋庄德 ; 刘志刚 | |
| 2012 | |
| 会议名称 | 中国工程热物理学会 |
| 会议日期 | 2012 |
| 关键词 | MEMS 黏度 压阻 微悬臂梁 谐振 |
| 学科主题 | 工质热物性 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/56776]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_中国工程热物理学会论文_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张桂铭,赵立波,徐龙起,等. 压阻式谐振微悬臂梁黏度传感器[C]. 见:中国工程热物理学会. 2012. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论