| 基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器 | |
| 赵立波 ; 徐龙起 ; 张桂铭 ; 黄恩泽 ; 王晓坡 ; 宋渤 ; 蒋庄德 ; 刘志刚 | |
| 2012 | |
| 会议名称 | 中国工程热物理学会 |
| 会议日期 | 2012 |
| 关键词 | MEMS 梯形悬臂梁 密度 传感器 谐振频率 |
| 学科主题 | 工质热物性 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/56774]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_中国工程热物理学会论文_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵立波,徐龙起,张桂铭,等. 基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器[C]. 见:中国工程热物理学会. 2012. |
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