带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究 | |
Li Liu-He; Liu Hong-Tao; Luo Ji; Xu Yi | |
刊名 | 物理学报
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2016 | |
卷号 | 65页码:237-245 |
关键词 | 离子能量 离子密度 类金刚石膜 拉曼光谱 |
ISSN号 | 1000-3290 |
DOI | 10.7498/aps.65.065202 |
URL标识 | 查看原文 |
收录类别 | SCIE ; EI ; PKUISTICCSCD |
WOS记录号 | WOS:000380354000030 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5953544 |
专题 | 北京航空航天大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Li Liu-He,Liu Hong-Tao,Luo Ji,等. 带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究[J]. 物理学报,2016,65:237-245. |
APA | Li Liu-He,Liu Hong-Tao,Luo Ji,&Xu Yi.(2016).带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究.物理学报,65,237-245. |
MLA | Li Liu-He,et al."带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究".物理学报 65(2016):237-245. |
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