| 基于片上工艺的MOEMS光强差分测量加速度计研究 | |
| 薛国芳; 张培彦 | |
| 刊名 | 电子器件
 |
| 2018 | |
| 卷号 | 41页码:1130-1135 |
| 关键词 | 微光机电系统(MOEMS) 光强差分测量 加速度计 |
| ISSN号 | 1005-9490 |
| DOI | 10.3969/j.issn.1005-9490.2018.05.010 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5928347 |
| 专题 | 北京航空航天大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛国芳,张培彦. 基于片上工艺的MOEMS光强差分测量加速度计研究[J]. 电子器件,2018,41:1130-1135. |
| APA | 薛国芳,&张培彦.(2018).基于片上工艺的MOEMS光强差分测量加速度计研究.电子器件,41,1130-1135. |
| MLA | 薛国芳,et al."基于片上工艺的MOEMS光强差分测量加速度计研究".电子器件 41(2018):1130-1135. |
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