温度对硅-蓝宝石压力传感器影响研究 | |
邹兴; 黄漫国; 李欣; 郭占社 | |
刊名 | 测控技术 |
2019 | |
卷号 | 38页码:23-27 |
关键词 | 硅-蓝宝石 双层膜片 有限元仿真 热应力 测试精度 |
ISSN号 | 1000-8829 |
DOI | 10.19708/j.ckjs.2019.06.006 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5917904 |
专题 | 北京航空航天大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 邹兴,黄漫国,李欣,等. 温度对硅-蓝宝石压力传感器影响研究[J]. 测控技术,2019,38:23-27. |
APA | 邹兴,黄漫国,李欣,&郭占社.(2019).温度对硅-蓝宝石压力传感器影响研究.测控技术,38,23-27. |
MLA | 邹兴,et al."温度对硅-蓝宝石压力传感器影响研究".测控技术 38(2019):23-27. |
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