CORC  > 北京航空航天大学
"高能冲击磁控溅射技术及工程应用" 专题序言
李刘合
刊名表面技术
2019
卷号48页码:前插1-前插2
关键词磁控溅射技术 离化率
ISSN号1001-3660
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5917196
专题北京航空航天大学
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GB/T 7714
李刘合. "高能冲击磁控溅射技术及工程应用" 专题序言[J]. 表面技术,2019,48:前插1-前插2.
APA 李刘合.(2019)."高能冲击磁控溅射技术及工程应用" 专题序言.表面技术,48,前插1-前插2.
MLA 李刘合.""高能冲击磁控溅射技术及工程应用" 专题序言".表面技术 48(2019):前插1-前插2.
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