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	双层亚波长光栅微位移传感系统结构优化设计与性能仿真
	赵玉娇; 周震
刊名	半导体光电
	2019
卷号	40页码:626-630
关键词	亚波长光栅 倏逝波 微位移检测 严格耦合波理论 仿真
ISSN号	1001-5868
DOI	10.16818/j.issn1001-5868.2019.05.005
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5917124
专题	北京航空航天大学
推荐引用方式 GB/T 7714	赵玉娇,周震. 双层亚波长光栅微位移传感系统结构优化设计与性能仿真[J]. 半导体光电,2019,40:626-630.
APA	赵玉娇,&周震.(2019).双层亚波长光栅微位移传感系统结构优化设计与性能仿真.半导体光电,40,626-630.
MLA	赵玉娇,et al."双层亚波长光栅微位移传感系统结构优化设计与性能仿真".半导体光电 40(2019):626-630.

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