Si/Glass激光键合的仿真及实验研究

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	Si/Glass激光键合的仿真及实验研究
	张志强 ; 徐静 ; 李绍良 ; 吴亚明
刊名	中国激光
	2012
期号	7 页码:86-95
关键词	光学制造激光键合有限元方法键合强度气密性能谱分析线扫描
ISSN号	0258-7025
中文摘要	对Si/Glass激光键合进行了有限元仿真,自主设计激光键合系统并进行了Si/Glass激光键合实验研究、测试与表征。以Si/Glass激光键合的二维传热解析模型为理论基础,应用有限元软件ANSYS仿真了激光功率20～48W时激光键合的三维温度场、键合熔融深度,并预测键合阈值功率为28 W。自主设计激光键合系统及实验方案,采用光斑直径150μm、功率30W的Nd:YAG连续激光实现了Si/Glass的良好激光键合。测试结果表明,激光键合强度最高为阳极键合的5.2倍,激光键合腔体气密性测试泄漏率平均值约9.29×10-9 Pa.m3/s,与阳极键合处于同一数量级。采用能谱分析(EDS)线扫描Si/Glass激光键合的界面材料成分,发现键合界面形成过渡层,激光功率30W时过渡层厚度9μm,与仿真结果吻合。
收录类别	CNKI2012-096
语种	中文
公开日期	2013-02-22
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/111042]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	张志强,徐静,李绍良,等. Si/Glass激光键合的仿真及实验研究[J]. 中国激光,2012(7):86-95.
APA	张志强,徐静,李绍良,&吴亚明.(2012).Si/Glass激光键合的仿真及实验研究.中国激光(7),86-95.
MLA	张志强,et al."Si/Glass激光键合的仿真及实验研究".中国激光 .7(2012):86-95.