薄膜SOI上大于600 V LDMOS器件的研制 | |
王中健 ; 夏超 ; 徐大伟 ; 程新红 ; 宋朝瑞 ; 俞跃辉 | |
刊名 | 半导体技术
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2012 | |
期号 | 4页码:254-257 |
关键词 | 绝缘体上硅 横向扩散金属氧化物半导体 击穿电压 线性渐变掺杂 注氧键合 |
ISSN号 | 1003-353X |
中文摘要 | 针对600 V以上SOI高压器件的研制需要,分析了SOI高压器件在纵向和横向上的耐压原理。通过比较提出薄膜SOI上实现高击穿电压方案,并通过仿真预言其可行性。在埋氧层为3μm,顶层硅为1.5μm的注氧键合(Simbond)SOI衬底上开发了与CMOS工艺兼容的制备流程。为实现均一的横向电场,设计了具有线性渐变掺杂60μm漂移区的LDMOS结构。为提高纵向耐压,利用场氧技术对硅膜进行了进一步减薄。流片实验的测试结果表明,器件关态击穿电压可达600 V以上(实测832 V),开态特性正常,阈值电压提取为1.9 V,计算开态电阻为50Ω.mm2。 |
收录类别 | CNKI2012-067 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2013-02-22 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/111033] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王中健,夏超,徐大伟,等. 薄膜SOI上大于600 V LDMOS器件的研制[J]. 半导体技术,2012(4):254-257. |
APA | 王中健,夏超,徐大伟,程新红,宋朝瑞,&俞跃辉.(2012).薄膜SOI上大于600 V LDMOS器件的研制.半导体技术(4),254-257. |
MLA | 王中健,et al."薄膜SOI上大于600 V LDMOS器件的研制".半导体技术 .4(2012):254-257. |
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