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	薄膜厚度对ZnO：Ga透明导电膜性能的影响
	余旭浒 [1]; 马瑾 [1]; 计峰 [1]; 王玉恒 [1]; 张锡健 [1]; 程传福 [2]; 马洪磊 [1]
	2005
卷号	36期号:2页码:241-243
关键词	磁控溅射 ZnO:Ga 薄膜厚度 光电性质
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5776877
专题	山东师范大学
作者单位	1.[1]山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100 2.[2]山东师范大学,物理系,山东,济南,250014
推荐引用方式 GB/T 7714	余旭浒 [1],马瑾 [1],计峰 [1],等. 薄膜厚度对ZnO：Ga透明导电膜性能的影响[J],2005,36(2):241-243.
APA	余旭浒 [1].,马瑾 [1].,计峰 [1].,王玉恒 [1].,张锡健 [1].,...&马洪磊 [1].(2005).薄膜厚度对ZnO：Ga透明导电膜性能的影响.,36(2),241-243.
MLA	余旭浒 [1],et al."薄膜厚度对ZnO：Ga透明导电膜性能的影响".36.2(2005):241-243.

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