一种用于超高功率脉冲非平衡磁控溅射的电源方法 | |
牟宗信; 王振伟; 贾莉; 李国卿; 赵华玉; 张鹏云 | |
2006 | |
权利人 | 大连理工大学 |
公开日期 | 2007-04-18 |
URL标识 | 查看原文 |
申请日期 | 2006-11-06 |
内容类型 | 专利 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5699607 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 牟宗信,王振伟,贾莉,等. 一种用于超高功率脉冲非平衡磁控溅射的电源方法. 2006-01-01. |
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