| N离子注入对TiN薄膜的组织及性能的影响 | |
| 冯军; 金凡亚; 童洪辉; 但敏; 沈丽如; 陈美艳; 邓雉; 赖新春 | |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
 |
| 2015 | |
| 卷号 | 35期号:6页码:714-718 |
| 关键词 | 离子注入 非晶化 细化晶粒 硬度 摩擦磨损 |
| ISSN号 | 1672-7126 |
| DOI | 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.06.13 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | EI:20153401187866 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5692889 |
| 专题 | 南华大学 |
| 作者单位 | 1.[沈丽如 2.陈美艳 3.邓雉 4.但敏 5.金凡亚 6.冯军 7.童洪辉] Southwestern institute of Physics, Chengdu, China |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯军,金凡亚,童洪辉,等. N离子注入对TiN薄膜的组织及性能的影响[J]. 真空科学与技术学报,2015,35(6):714-718. |
| APA | 冯军.,金凡亚.,童洪辉.,但敏.,沈丽如.,...&赖新春.(2015).N离子注入对TiN薄膜的组织及性能的影响.真空科学与技术学报,35(6),714-718. |
| MLA | 冯军,et al."N离子注入对TiN薄膜的组织及性能的影响".真空科学与技术学报 35.6(2015):714-718. |
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