| 题名 | 类金刚石碳膜制备工艺及掺杂性能研究 |
| 作者 | 柳翠 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 李国卿 |
| 关键词 | 类金刚石碳膜 闭合场非平衡磁控溅射 磁过滤阴极弧 金属离子注入 梯度复合膜 |
| 学位名称 | 博士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5691965 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 柳翠. 类金刚石碳膜制备工艺及掺杂性能研究[D]. 大连理工大学. 2006. |
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