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数值模拟线圈参数对电感耦合等离子体温度及流场分布的影响效应
陈文波; 陈伦江; 刘川东; 程昌明; 童洪辉; 朱海龙
刊名真空科学与技术学报
2017
卷号37期号:6页码:591-599
关键词感应耦合 线圈参数 氩等离子体 温度及流场分布
ISSN号1672-7126
DOI10.13922/j.cnki.cjovst.2017.06.08
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5689847
专题南华大学
作者单位1.[陈文波
2.陈伦江
3.刘川东
4.程昌明
5.童洪辉] 核工业西南物理研究院 成都 610041
推荐引用方式
GB/T 7714
陈文波,陈伦江,刘川东,等. 数值模拟线圈参数对电感耦合等离子体温度及流场分布的影响效应[J]. 真空科学与技术学报,2017,37(6):591-599.
APA 陈文波,陈伦江,刘川东,程昌明,童洪辉,&朱海龙.(2017).数值模拟线圈参数对电感耦合等离子体温度及流场分布的影响效应.真空科学与技术学报,37(6),591-599.
MLA 陈文波,et al."数值模拟线圈参数对电感耦合等离子体温度及流场分布的影响效应".真空科学与技术学报 37.6(2017):591-599.
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