| 离子注入制备Al_2O_3阻氚涂层中氧元素分布的研究 | |
| 冯军; 金凡亚; 陈美艳; 但敏; 沈丽如; 童洪辉; 李炯; 赖新春 | |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
 |
| 2016 | |
| 卷号 | 36期号:5页码:504-509 |
| 关键词 | 离子注入 氧元素分布 加速电压 剂量 |
| ISSN号 | 1672-7126 |
| DOI | 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.05.02 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5689592 |
| 专题 | 南华大学 |
| 作者单位 | 1.[冯军 2.金凡亚 3.陈美艳 4.但敏 5.沈丽如 6.童洪辉 7.李炯] 核工业西南物理研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯军,金凡亚,陈美艳,等. 离子注入制备Al_2O_3阻氚涂层中氧元素分布的研究[J]. 真空科学与技术学报,2016,36(5):504-509. |
| APA | 冯军.,金凡亚.,陈美艳.,但敏.,沈丽如.,...&赖新春.(2016).离子注入制备Al_2O_3阻氚涂层中氧元素分布的研究.真空科学与技术学报,36(5),504-509. |
| MLA | 冯军,et al."离子注入制备Al_2O_3阻氚涂层中氧元素分布的研究".真空科学与技术学报 36.5(2016):504-509. |
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