CORC  > 大连理工大学
题名高g值条件下MEMS微构件动态特性测试装置的研制
作者尹东
答辩日期2006
授予单位大连理工大学
导师王晓东
关键词高g值 MEMS 微构件 动态测试
学位名称硕士
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出处大连理工大学
内容类型学位论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5685952
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
尹东. 高g值条件下MEMS微构件动态特性测试装置的研制[D]. 大连理工大学. 2006.
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