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316L不锈钢直流磁控溅射制备铝膜的工艺研究
冯军; 童洪辉; 金凡亚; 陈美艳; 赖新春
刊名金属热处理
2015
卷号40期号:1页码:111-115
关键词铝膜 316L不锈钢 直流磁控溅射 结晶度 致密性 残余应力
ISSN号0254-6051
DOI10.13251/j.issn.0254-6051.2015.01.026
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5682473
专题南华大学
作者单位[冯军] 核工业西南物理研究院,四川成都 610041
推荐引用方式
GB/T 7714
冯军,童洪辉,金凡亚,等. 316L不锈钢直流磁控溅射制备铝膜的工艺研究[J]. 金属热处理,2015,40(1):111-115.
APA 冯军,童洪辉,金凡亚,陈美艳,&赖新春.(2015).316L不锈钢直流磁控溅射制备铝膜的工艺研究.金属热处理,40(1),111-115.
MLA 冯军,et al."316L不锈钢直流磁控溅射制备铝膜的工艺研究".金属热处理 40.1(2015):111-115.
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