| 反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究 | |
| 马春雨; 李智; 张庆瑜 | |
| 刊名 | 无机材料学报
 |
| 2007 | |
| 卷号 | 22页码:1206-1210 |
| 关键词 | 薄膜物理学 铝掺杂氧化锆薄膜 磁控溅射 热稳定性 |
| ISSN号 | 1000-324X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5670257 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,大连,116023 2.大连大学,机械工程学院,大连,116622 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马春雨,李智,张庆瑜. 反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究[J]. 无机材料学报,2007,22:1206-1210. |
| APA | 马春雨,李智,&张庆瑜.(2007).反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究.无机材料学报,22,1206-1210. |
| MLA | 马春雨,et al."反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究".无机材料学报 22(2007):1206-1210. |
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