| PSII法制备DLC膜的纳米摩擦性能研究 | |
| 李新; 唐桢安; 徐军; 鲍海飞 | |
| 刊名 | 真空
 |
| 2007 | |
| 卷号 | 44页码:29-31 |
| 关键词 | 类金刚石膜 原子力显微镜 纳米摩擦 等离子源离子注入 |
| ISSN号 | 1002-0322 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5668891 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.沈阳工业大学,辽宁,沈阳,110023 2.大连理工大学,辽宁,大连,116024 3.大连理工大学,辽宁,大连,116024 4.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李新,唐桢安,徐军,等. PSII法制备DLC膜的纳米摩擦性能研究[J]. 真空,2007,44:29-31. |
| APA | 李新,唐桢安,徐军,&鲍海飞.(2007).PSII法制备DLC膜的纳米摩擦性能研究.真空,44,29-31. |
| MLA | 李新,et al."PSII法制备DLC膜的纳米摩擦性能研究".真空 44(2007):29-31. |
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